氧的增压有两种方式，即采用氧气压缩机和液氧泵，前者压缩介质为气氧，在冷箱外压缩；后者压缩介质为液氧，在冷箱内压缩。分别称为外增压流程和内增压流程。
内压缩流程是采用液氧泵对氧产品进行压缩的一种流程形式。
内压缩流程有以下三个优点：
1.外压缩流程是氧气在常态下以气态形式压缩的，在这过程中会产生高温，内压缩流程是液氧在低温下以液态形式压缩的，两者相比，显然是内压缩流程的安全性要高；
2.氧压机在设计、制造中需要采用的安全措施较多，成本就高，特别是进口氧压机非常昂贵；而采用内压缩流程所需的液氧泵和空气增压机成本相应就低的多；
3.内压缩流程空分设备在生产气体产品的同时还可生产大量的液体产品，在当今市场上液体需求量不断增加的形势下，内压缩流程空分设备在运行成本上就有较大的优势。